Automatisiertes Cluster-Tool für die Dünnschichtdeposition
OCTOS™
Automatisiertes Cluster-Tool für die Dünnschichtdeposition
Die Kurt J. Lesker Company® OCTOS Clusterwerkzeuge sind bewährte F&E- und Pilotproduktionsanlagen für den Vakuumtransfer zwischen mehreren Prozesskammern.
Typische Anwendungen sind magnetische Tunnelübergänge und Schleudervorrichtungen (GMR, TMR, MRAM, STT), organische lichtemittierende Vorrichtungen (OLED) sowie Solarzellen (PV, OPV).
Die OCTOS Cluster-Tools verfügen über eine oder mehrere Substratkassettenladeschleusen und ermöglichen es, Prozessrezepturschritte im Vakuum durchzuführen, ohne das Substrat der Atmosphäre auszusetzen. OCTOS bietet die Möglichkeit, Substrate automatisch nacheinander oder parallel zu verarbeiten, um den Durchsatz zu erhöhen. Die Verfolgbarkeit des Substrats ist verfügbar und die vollständige Prozessdatenerfassung ist Standard.
Die Prozesskammern sind um eine zentrale Roboter-Verteilerkammer herum angeordnet, um Ihrer Anwendung gerecht zu werden.
Die eKLipse-Software von KJLC ermöglicht eine benutzerfreundliche Rezepterstellung zusammen mit einer zuverlässigen, unterbrechungsfreien Steuerung, die den Prozessabschluss unabhängig vom Zustand der Computeroberfläche ermöglicht. For more information on this intuitive, unique, and reliable software package, please see the Software Tab
KJLC stellt seit 1999 die OCTOS Cluster-Tool-Plattform her. Die meisten unserer OCTOS-Cluster-Tools verrichten alle Arbeit für ihre Besitzer und werden immer noch täglich verwendet, darunter eines, das über eine Million Substrate verarbeitet hat.
Angebotene Verfahren:
- Elektronenstrahlverdampfung
- Thermisches Verdampfen
- Magnetron-Sputtern
- Organische Verdampfung
- Atomlagendeposition
Optionen:
- HV- oder UHV-Prozess-Module
- Plasmareinigung
- Substratglühen
- Maskenspeicher und in-situ Maskenwechsel
- Glovebox-Integration
- Kundenspezifische Prozessmodule
- Übergabe an In-Vakuum-Analysekammern wie z. B. XPS
- Integration mit Prozesskammern von Drittanbietern wie PLD oder CVD
Substrat-Handhabung
Es werden zwei OCTOS-Roboter-Substratverteilerkammern angeboten: OCTOS 6 und OCTOS 10. Beide verwenden vakuumkompatible Roboter nach Industriestandard. Die OCTOS-Kammern sind mit turbomolekularen oder kryogenen Pumpenpaketen erhältlich, die Ihren Bedürfnissen entsprechen.
Robot Transferring Samples.
OCTOS 6 Substratverteilerkammer
- F&E-Roboter-Verteilerkammer
- Standard-Substratgrößen bis zu 6" (150 mm) Durchmesser
- Verwendet Genmark AVR Roboter mit 5 lb. Nutzlast, > 80.000 Stunden MTBF
- Maximal sechs Prozessmodule mit Einzel- und Mehrfach-Substratkassettenschleusen. Die Anzahl der potenziellen Prozesskammern ist durch die Größe des Substrats und des Prozessmoduls begrenzt.
- Computergesteuert mit der KJLC eKLipse-Software
OCTOS 10 Substratverteilerkammer
- F&E oder Pilotproduktionsfähig
- Standard-Substratgrößen bis zu 8" x 8"". (200 mm x 200 mm)
- Verwendet Genmark GB-9 Roboter mit 25lb Nutzlast, > 80.000 Stunden MTBF
- Maximal zehn Prozessmodule mit Einzel- und Mehrfach-Substratkassettenschleusen. Die Anzahl der potenziellen Prozesskammern ist durch die Größe des Substrats und des Prozessmoduls begrenzt.
- Computergesteuert mit der KJLC eKLipse-Software
Standardprozessmodule
Für Dünnschichtdepositionsprozesse steht eine Vielzahl von Standardmodulen zur Verfügung. Die meisten basieren auf den Designs der Standard-Systemplattform von Kurt J. Lesker Company. Kundenspezifische Module sind auch für Spezialanwendungen erhältlich.
HV PVD Module
Basierend auf Standard KJLC PRO Line PVD-Modulen, bieten diese Prozessmodule bewährte Lösungen für Ihre Anforderungen an Magnetronsputtern, Elektronenstrahlverdampfung und thermische Verdampfungsprozesse.
HV Organische Module
Basierend auf dem Standard KJLC SPECTROS Module. Die organischen Module von OCTOS bieten kleinmolekulare organische Material-Dünnschichtdeposition sowie In-situ-Schattenmaskenwechsel und Glovebox-Schnittstellen.
Zweikammer-Module
Zweikammer-Module ermöglichen es, die Anzahl der Prozesskammern auf einem OCTOS 10-basierten Cluster-Tool zu maximieren. Zwei Prozesskammern sind an einem einzigen Rahmen montiert und belegen nur eine Facette auf der Substratverteilerkammer OCTOS 10. Zweikammer-Module sind für die OCTOS 6-basierten Cluster-Tools nicht verfügbar.
UHV-Module
UHV-kompatible Magnetron-Sputter- und Elektronenstrahl-Verdampfungsmodule sind für Prozesse verfügbar, die Drücke im Bereich von 10-9 oder niedriger erfordern. Alle metallisch dichten Kammern und Ausheizpakete werden entsprechend den Anforderungen der Anwendung geliefert. Diese Module eignen sich besonders gut für die Herstellung von magnetischen Tunnelverbindungen und supraleitenden Bauelementen.
ALD Module
Basierend auf dem Standard KJLC ALD150LX-Module, ermöglichen diese Prozessmodule thermische und plasmagestützte Atomschichtdepositionverfahren.
Mehrsubstrat-Lastschutzmodule
Mehrsubstrat-Lastschutzmodule ermöglichen OCTOS-Cluster-Tools zur Maximierung von Durchsatz und Vielseitigkeit. Die zehn Regalkassetten bieten eine vollautomatische Stapelverarbeitung oder Rezepte, die einzelnen Substraten zugeordnet und unbeaufsichtigt verarbeitet werden können. Zwei Multisubstrat-Lastschlossmodule können auf einer Facette des OCTOS 10-basierten Clustertools als Duell-Schleusenkammer oder Ein- und Ausgangsschleusen kombiniert werden. Das OCTOS 6 Cluster-Tool kann nur eine Multisubstrat-Schleusenkammer aufnehmen.
Architektur-Übersicht
Kurt J. Lesker Company® eKLipse™ Controls Software wird auf allen KJLC-Plattformen eingesetzt. Die Plattform eKLipse™ steuert eine .NET-Anwendung, die auf einem Windows-PC für die Benutzeroberfläche und den Rezepteditor ausgeführt wird. Die Anlagenautomatisierung erfolgt über einen eigenständigen Echtzeit-Controller.
Rezepte
- Graphical Recipe Builder – Erstellen Sie ganz einfach Rezepte, indem Sie auf die gewünschte Komponente klicken und die Attribute dieses Elements festlegen.
- Scripted Recipe Builder – Ein traditionellerer „scripted“ Rezepteditor zeigt mehr Details zum Setzen oder Überprüfen des Wertes einer Systemkomponente während eines Prozesses.
Zuverlässig
- Echtzeit-Controller – Das System arbeitet unabhängig vom Windows-Softwarepaket und setzt das Rezept bei einer Fehlfunktion der Software/des Computers fort.
- Unabhängige thermische Verdampfung Dünnschicht-Steuerung – Es gibt keine Software von Drittanbietern, die einen „Handshake“ oder „Handoff“ zwischen der Software des Systemherstellers und der Software des Dünnschichtreglers erfordert.
Unbegrenzte Rezepte, (import- und exportfähig)
- Unbegrenzte Anzahl von Rezepten mit Funktionen der Benutzersicherheitsstufe
- Rezept-Import-/Exportfähigkeit (zum Übertragen von Rezepten zwischen ähnlich ausgestatteten Werkzeugen)
- Jeder Rezeptschritt kann so konfiguriert werden, dass der Benutzer einen Wert ändern und Prozessbedingungen ändern kann, ohne das Planungsrezept zu beeinflussen. Zum Beispiel kann das Rezept zum Zeitpunkt der Ausführung den Benutzer zur Eingabe der gewünschten Schichtdicke oder Leistungseinstellung auffordern.
- Einheitliche Benutzererfahrung über alle Depositionstechniken und KJLC-Plattformen (Sputter, Thermal, EBeam, ALD) hinweg.
- Mehrkammer- und Multi-PC-Steuerung für Cluster-Tools
Benutzerdefinierter Diagrammschreiber und Datenaufzeichnung
- Benutzerdefiniertes Diagramm mit bis zu 10 gleichzeitigen Diagrammen
- Der Diagrammschreiber kann verwendet werden, um einen beliebigen Schaltpunkt oder Rückführparameter anzuzeigen.
- Automatische Protokollierung der einzelnen Rezeptschritte für alle Rezepte
- Kartendaten und Konfiguration können gespeichert werden
- Grafische Auswahl der aufzuzeichnenden Signale
Benutzerdefinierte Wartungszähler
- Benutzerdefinierte Wartungszähler sind für jede Komponente verfügbar
- Regelmäßige Wartungsverriegelungen und Rezeptprüfungen können für jeden Wartungszähler konfiguriert werden
- Sputter Target kiloWatt*Stunden- und kundenspezifische Materialverbrauchsverfolgung
Benutzersicherheit
- Unterstützt mehrere Benutzerkonten und Passwortebenen mit benutzerdefiniertem Sicherheitszugang für Rezepte und Bildschirme.
- Der Zugriff auf den Software-Bildschirm kann pro Benutzer angepasst werden
- Rezeptbearbeitung und manuelle Bedienfunktionen können benutzerbezogen zugeordnet werden;
- Benutzer mit vollem Zugriff haben die Möglichkeit, Rezepte und Steuerverriegelungen zu bearbeiten. Benutzer mit eingeschränktem Zugriff sind auf die Ausführung bestimmter Rezepte beschränkt und haben keine Kontrolle über Verriegelungen.
- Jedes Kontrollobjekt kann einer Standard-Benutzersicherheitsstufe zugeordnet werden.
- Der individuelle Zugriff auf den Bildschirm kann jedem Benutzer separat zugeordnet werden.
Funktionen der Mehrbenutzeranlage
- Das Systemereignisprotokoll erfasst alle An- und Abmeldeereignisse der Benutzer, alle ausgeführten Rezepte und Systemstatusmeldungen.
- Die Verriegelung von Vakuum- und Depositionsanlagen ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung des Systemstatus und schränkt gleichzeitig die nicht genehmigte Systemnutzung ein (kein Abschalten des Systembildschirms oder PCs erforderlich).
Fernwartungsdienstprogramm und Anwendungen
- Kundenspezifische Version von TeamViewer ermöglicht Fernwartung (kostenlose Android- und IOS-Anwendungen)
- Die Fernverbindung unterstützt die Systemüberwachung und -steuerung sowie die Dateiübertragung.
