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Systemkomponenten für die Dünnschichtdeposition


Depositionsquellen

Die Kurt J. Lesker Company bietet eine breite Palette eigenständiger Systemkomponenten für Upgrade und/oder Ersatz an Ihrem bestehenden Vakuumsystem aber auch um den Eigenbau eines neuen Systems zu erleichtern. Zu diesen Komponenten gehören u.a.: Depositionsquellen und Netzgeräte, Schleusenkammern, Schnellverschlusstüren, Komponenten für Substrathandling und -verteilung sowie Substrat-Heizkomponenten.

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