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Systemkomponenten für die Dünnschichtdeposition


Schnellzugangstüren


 
 

Systemkomponenten sind Komponenten, die wichtige Bestandteile eines typischen Vakuumsystems sind. Sie umfassen Schleusenkammern für die Übertragung von Proben aus der Atmosphäre in den Vakuumraum, schnelle Eingangstüren für einfachen Zugriff auf den Vakuumraum, Substratverteilungsausrüstung für Mehrkammeranwendungen (Cluster-Tools) und Substratheizung.

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