Substraterhitzer & Depositionsstufen

Viele verschiedene Geräte sind mit der Manipulation von Proben verbunden: mechanische Durchführungen, Probentransfer, Translationsgeräte, XYZ-Manipulatoren, Z-Hübe, Probenrotation, Drehdurchführungen, lineare Antriebe, Wobble Sticks usw. Alle decken verschiedene Aspekte der gleichen Grundvoraussetzung ab – ein Objekt, das sich in einer Vakuumkammer und unter Vakuum befindet, mechanisch zu bewegen. Solche Geräte ermöglichen eine präzise, wiederholbare Bewegung oder grobe Positionierung mithilfe von Rotation, linearer Bewegung oder einer Kombination aus beidem.

Die komplexesten Geräte ermöglichen Bewegungen in drei Achsen und Drehungen um zwei dieser Achsen. Die mechanische Bewegung kann durch zwei grundlegende Mechanismen erzeugt werden: eine vakuumdichte Abdichtung an einer mechanischen Vorrichtung, die sich durch die Vakuumwand bewegt, oder eine Magnetkupplung, die die Bewegung von der Luftseite auf die Vakuumseite überträgt.

Wenn Sie nicht das richtige Gerät zu Probenmanipulation oder die richtige mechanische Durchführung finden, nach dem/der Sie suchen, kontaktieren Sie uns mit Ihren spezifischen Prozessanforderungen.

Wenn Sie einen UHV-Designkatalog erhalten möchten, der alle Produkte in diesem Abschnitt vollständig darstellt, dann schauen Sie bitte auf unserer Literature Download Center Seite.

Eine Auflistung häufig gestellter Fragen (FAQs) zu Probenmanipulation und mechanischen Durchführungen finden Sie unter diesem Link: FAQ zur Probenmanipulation und mechanische Durchführungen.