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Systemkomponenten für die Dünnschichtdeposition


TORUS® Magnetron-Sputterkathoden


 
 
 
 
 
 
 
 

Depositionsquellen sind Komponenten, die mithilfe unterschiedlicher Verfahren eine physikalische oder chemische Änderung eines Basismaterials erlauben und so das Aufdampfen von Dünnschichten ermöglichen. Zu den typischen Depositionsquellen gehören unter anderem Magnetron-Sputterkathoden, thermische Verdampferquellen sowie Elektronenstrahlverdampfer- und Ionenstrahlquellen.

KJLC fertigt, montiert, prüft und integriert TORUS® Magnetron-Sputterkathoden, thermische Widerstandsverdampfer und Punktquellenverdampfer sowohl als eigenständige Produkte für die Vakuumwissenschaft als auch zur Verwendung in unseren eigenen Dünnschicht-Vakuumbeschichtungssystemen.

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